超純水的特性：超純水（high-purity water,ultra-high purity water,highly purified water）是水分子純度極高的水，通俗點講就是只含有水分子（H2O），不含有其它任何雜質。主要體現2方面：一是具有導電性能的離子基本不含，其水質電阻值為18.2 MΩ•cm @25℃；另一方面是水體中其它不導電的雜質幾乎不含，其中的雜質的含量小于0.01mg/L（TOC：<20ppb  有機物：<0.01AU@254nm 殘留固體：<200ppb ）。

水的電阻率（衡量水中導電物質的多少）為18.248兆毆每厘米在水溫25℃時，理論上可以算作超純水。國家頒布的**實驗室用水標準，就是在25℃時 水的電阻率大于10 MΩ•cm，電子級**用水標準是18.2 MΩ•cm，但水溫不同超純水的電阻率測出的數值是不同的。一般測量電阻率的電極都帶有測溫探頭，用作溫度補償。而這樣測出的電阻率叫比電阻率。電阻率只是衡量超純水的一個指標，還有些有機物的指標（不導電）是不能用電阻率衡量的，如TOC、**、內** ，超純水的具體技術參數要求要依據用戶使用的環境用途來確定。

目前常用制取工藝手段：預處理+二級RO+UV+EDI+拋光+微孔