氮封水箱的作用與原理：電阻值15兆歐以上的超純水基本為水分子溶劑，它的溶解能力很強，一旦超純水與空氣接觸，超純水的電阻率就會迅速下降，如果15MΩ·m以上的超純水與空氣接觸1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ.m，3分鐘以后就會下降到2MΩ.m左右，為獲得穩定的較高阻值的超純水，故儲存容器需確保水體不與空氣的接觸。

超純水與空氣隔絕的方法：

充氮法：即在水箱水面上充入氮氣使箱內維持適當的正壓力，阻止大氣與箱內水面接觸。

薄膜袋法：即在在水箱內設置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。

浮頂法：即以密度比水輕的輕質材料在水箱內制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質彈性材料（如海綿、發泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。

在上述三種方法中又以氮封水箱*常見，實施*簡單，效果*好。

氮封裝置的原理：

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當儲罐內壓力升高至設定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥是在儲罐內壓力降低時，開啟閥門，向罐內充注氮氣。因微壓調節閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現場N2壓力較高，必須安裝壓力調節閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。

壓力可按要求分段設定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。微壓調節閥壓力調節范圍內選定一設定值 如：3Kpa。泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值，如：8Kpa。具體壓力的設定值要根據純水系統的產水量和水箱容量大小來確定選擇。