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去離子水設備在電子行業的應用
日期：2025-07-07 20:51
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摘要：
去離子水設備在電子行業的應用：半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、化工行業、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、去離子水清洗半成品、成品。
目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。可以用兩級反滲透、EDI電除鹽、離子交換等工藝處理達到相應的技術要求，去離子水處理設備工藝流程大致分成以下幾種：
☆采用離子交換樹脂制備去離子水的傳統水處理方式：原水→砂、炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→脫氣→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
☆采用膜分離加離子交換方式：原水→砂、炭過濾器→精密過濾器→原水箱→RO膜分離→混床（復床）→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
☆采用反滲透、電去離子（EDI）處理方式：原水→砂、炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
目前制備電子工業用去離子水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。
三種處理工藝的優缺點相比較如下：
☆**種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞。
☆**種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
☆第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取去離子水*經濟、*環保的去離子水制取的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取去離子水，對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。
